摘要 本发明为一种电子工业用氧化锆窑具及制造方法,是以电熔氧化锆原料为基,加入氧化钙,氧化钇为稳定剂,经电弧炉煅烧,然后经球磨、振磨、干压或注浆成型,干燥后在1550℃-1650℃烧成为本发明产品,以所加的稳定剂不同有两种组成不同产品,用氧化钙为稳定剂时,ZrO290-95%, CaO3.5-4.5%;以氧化钇为稳定剂时,窑具的化学组成为ZrO288-93%,Y2O36-10%,此外,两种产品中各有TiO20.1-0.4%, Al2O30.4-1.2%, SiO20.4-1.2%, Fe2O3<0.2%。 申请人 田维 地址 526060广东省肇庆市端州三路翠岗工业区A栋