当工件与研具作高速相对运动时，由于抛光液的流体动压效应使工件微量浮起与研具脱离接触，液膜中的微细软磨料与工件外层表面的原子相互扩散，降低了工件最外层表面的原子结合能，因而能被磨粒粒子冲击去除，达到光整工件表面而又不致产生表层晶体的错位。虽其加工效率较低，但是一种可获得极高的平面度，而又没有端面塌边和变形缺陷的高表面质量的超精密加工方法。