申请号/专利号: 200780000966
本发明提供一种半导体陶瓷,施主元素相对于Ti元素100摩尔,在0.8~2.0摩尔的范围中固溶在晶粒中,受主元素以比所述施主元素更少的量固溶在晶粒中,受主元素以相对于Ti元素100摩尔,在0.3~1.0摩尔的范围中存在于晶界中,晶粒的平均粒径为1.0μm以下。使用该半导体陶瓷,取得层叠型半导体陶瓷电容器。这时,在进行还原煅烧的一次煅烧处理中,把冷却开始时的氧分压设定为煅烧过程的氧分压的1.0×10↑[4]倍以上,进行冷却处理。据此,实现即使晶粒的平均粒径微粒化到1.0μm以下,也具有5000以上的表观相对介电常数εr↓[APP]和10以上的比电阻logρ(ρ:Ω·cm)的SrTiO↓[3]类晶界绝缘型的半导体陶瓷和使用它的层叠型半导体陶瓷电容器、它们的制造方法。
申请日: 2007年05月28日
公开日: 2009年01月14日
授权公告日:
申请人/专利权人: 株式会社村田制作所
申请人地址: 日本京都府
发明设计人: 川本光俊
专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
代理人: 李香兰
专利类型: 发明专利
分类号: C04B35/47;H01G4/12